НАЗНАЧЕНИЕ
Установка предназначена для воспроизведения и точных измерений единицы потока газа в вакууме, а также поверки и калибровки мер потока газа в вакууме.
ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ
Установка реализует два принципа измерений:
-принцип накопления, основанный на измерении эталонными вакуумметрами изменений абсолютного давления во времени в измерительном объеме установки;
-принцип компарирования, основанный на сравнении при помощи массспектрометрического компаратора измеряемого потока газа (гелия) от поверяемой (калибруемой) течи с известным потоком газа (гелия) от эталонной меры потока.
ОТРАСЛЕВОЕ ПРИМЕНЕНИЕ
Авиакосмическая промышленность, симуляция космического пространства, электротехника, полупроводниковые технологии, металлургия, атомная промышленность, физика элементарных частиц, метрология, научные исследования, технологии выращивания тонких пленок и кристаллов, биотехнологии и медицинские технологии и др.
| Диапазон измерений | от 1∙10-11 до 1∙10-5 Па∙м3/с | |
| Пределы допускаемой относительной | ||
| погрешности измерений: | ||
| — в диапазоне | 1∙10-11 до 1∙10-9 Па∙м3/с | ±(15-10) % |
| — в диапазоне свыше | 1∙10-9 до 1∙10-5 Па∙м3/с | ±(10-5) % |
