ПРЕДНАЗНАЧЕН ДЛЯ
Бесконтактного измерения формы поверхности объектов в микро- и нанодиапазонах высот, высотных и шаговых параметров шероховатости, толщины тонких плёнок, распределения показателя преломления и пр. Микроскоп позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.). Также он может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания, размещённых на зеркальной поверхности.
ОТРАСЛЕВОЕ ПРИМЕНЕНИЕ
Биологические исследования, нанотехнологии.
| Поле зрения, мкм | 130 × 175 |
| Диапазон измерения высот, мкм | 0,0001 ÷ 3,0000 |
| Разрешающая способность | |
| • в плоскости XY, мкм | 0,3 |
| • по оси Z, Å | 0,8 |
| Диапазон измерения показателя преломления | 1 ÷ 2 |
| Абсолютная погрешность измерения показателя преломления | 1•10-3 |
| Источники излучения | светодиод |
| Длина волны, мкм | 0,532 |
| Алгоритм реконструкции | метод фазовых шагов |
| Размерность изображения, пиксель | 1392 х 1040 |
| Время измерения и обработки, сек | 30 |
| Число обрабатываемых интерференционных картин | 9 |
