DESTINACIÓN
La unidad está diseñada para verificar y calibrar los vacuómetros de varios tipos y principios funcionales.
PRINCIPIO FUNCIONAL
La instalación representa un sistema de alto vacío con los vacuómetros de patrones de alta precisión. La verificación y calibración se realiza mediante los métodos de comparación directa, expansión estática, expansión dinámica (reducción). La instalación está diseñada conforme a los requisitos del documento “Recomendación. Sistema estatal para asegurar la uniformidad de mediciones. Manómetros de vacío. Método de verificación. MI 140-89”. A petición del cliente, la instalación puede incluirse como un complejo único de patrones en el Fondo Federal de información de proveimiento de la uniformidad de las medidas.
APLICACIÓN INDUSTRIAL
Industria aeroespacial y nuclear, simulación espacial, ingeniería eléctrica, tecnología de semiconductores, metalurgia, física de partículas, metrología, investigación científica en el área de los estudios de vacío profundo, tecnología para el cultivo de películas delgadas y cristales, biotecnología y tecnología médica, etc.
| Rango de mediciones | de 10-6 a 105 Pa |
| Límites del valor permisible relativo | ± (10-3) % |
