Regulador del flujo de gas en el vacío

El regulador representa un dispositivo que reproduce el flujo de helio que se regula. El principio de funcionamiento se basa en la difusión del gas a través del elemento permeable, mientras que la regulación del flujo de gas se realiza cambiando la presión y la temperatura del gas. Los reguladores se producen en varias modificaciones, que difieren en las dimensiones generales, el valor del flujo establecido y los límites del error permitido.

DESTINACIÓN

Para verificar y calibrar los equipos de medición del flujo de gas en el vacío, tales como las medidas del flujo de gas en el vacío y detectores de fugas, en el área de su explotación.

Características
Rango de flujos posibles que se establecen, Pa • m3/s
de 1·10-10
  a 1·10

Límites del error relativo permisible del valor de reproducción del flujo,%

– en el rango de 1 • 10-10 a 3 • 10-9 Pa • m3/s

– en el rango de más de 3 • 10-9 a 3 • 10-6 Pa • m3/s

– en el rango de más de 3 • 10-10
 a 1 • 10-4
 Pa • m3/s

±(10 – 7)
±(7 – 3)
± 5

Condiciones de explotación:

– temperatura del medio ambiente, оС

– humedad relativa del aire,%, máx

– presión atmosférica del aire ambiente, kPa
de +15 a +30
80
de 86 a 106
Plazo medio de servicio, años

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